Die Überlegungen werden konkret: ASML arbeitet an EUV-Belichtern mit numerischer Apertur von 0,75. Die Herausforderungen sind immens. (Halbleiterfertigung, ASML)
Der Beitrag Für Sub-1nm-Prozesse: ASML arbeitet an Hyper-NA für EUV-Belichter erschien zuerst auf Rene Telemann.
